Log InRegister
Quick Links : The Mindat ManualThe Rock H. Currier Digital LibraryMindat Newsletter [Free Download]
Home PageAbout MindatThe Mindat ManualHistory of MindatCopyright StatusWho We AreContact UsAdvertise on Mindat
Donate to MindatCorporate SponsorshipSponsor a PageSponsored PagesMindat AdvertisersAdvertise on Mindat
Learning CenterWhat is a mineral?The most common minerals on earthInformation for EducatorsMindat ArticlesThe ElementsThe Rock H. Currier Digital LibraryGeologic Time
Minerals by PropertiesMinerals by ChemistryMineral Visual ExplorerAdvanced Locality SearchRandom MineralRandom LocalitySearch by minIDLocalities Near MeSearch ArticlesSearch GlossaryMore Search Options
Search For:
Mineral Name:
Locality Name:
Keyword(s):
 
The Mindat ManualAdd a New PhotoRate PhotosLocality Edit ReportCoordinate Completion ReportAdd Glossary Item
Mining CompaniesStatisticsUsersMineral MuseumsClubs & OrganizationsMineral Shows & EventsThe Mindat DirectoryDevice SettingsThe Mineral QuizTime Machine
Photo SearchPhoto GalleriesSearch by ColorPhoto Colour ExplorerNew Photos TodayNew Photos YesterdayMembers' Photo GalleriesPast Photo of the Day GalleryPhotography

(2003) Source par décharge capillaire pour la lithographie EUV. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 169-172 doi:10.1051/jp4:20030620

Advanced
   -   Only viewable:
Reference TypeJournal (article/letter/editorial)
TitleSource par décharge capillaire pour la lithographie EUV
JournalJournal de Physique IV (Proceedings)
Year2003 (June)Volume108
PublisherEDP Sciences
DOIdoi:10.1051/jp4:20030620Search in ResearchGate
Generate Citation Formats
Mindat Ref. ID13645778Long-form Identifiermindat:1:5:13645778:9
GUID0
Full Reference(2003) Source par décharge capillaire pour la lithographie EUV. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 169-172 doi:10.1051/jp4:20030620
Plain Text(2003) Source par décharge capillaire pour la lithographie EUV. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 169-172 doi:10.1051/jp4:20030620
In(2003) Le Journal de Physique IV Vol. 108. EDP Sciences

See Also

These are possibly similar items as determined by title/reference text matching only.

(2003) Étude théorique et expérimentale d'une source EUV par décharge capillaire. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 263-266 doi:10.1051/jp4:20030640
(2003) Développement d'une source EUV plasma laser pour la micro-lithographie. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 267-270 doi:10.1051/jp4:20030641
(2003) CAPELLA : une source de rayonnement extrême UV à 13.5 nm par décharge capillaire. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 259-262 doi:10.1051/jp4:20030639
(2003) Développement d'une source plasma-laser pour la lithographie dans l'extrême ultraviolet. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 275-279 doi:10.1051/jp4:20030643
(2005) Caractérisation du seuil d'ablation des parois dans les sources de rayonnement EUV par décharge capillaire. Journal de Physique IV (Proceedings), 127. 157-162 doi:10.1051/jp4:2005127024
Choi, P., Krisch, I., Larour, J., Dumitrescu, C., Favre, M., Chuvatin, A., Rous, J., Leblanc, C., Guilbert, A. (2001) Décharge capillaire compacte et ultra-brève pour la lithographie UV extrême par projection. Le Journal de Physique IV, 11. doi:10.1051/jp4:2001710
(2005) Quelle source pour la lithographie dans l'EUV ?. Journal de Physique IV (Proceedings), 127. 25-31 doi:10.1051/jp4:2005127005
(2003) Le projet français PREUVE, projet d'études et de développement pour la lithographie extrême ultraviolet. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 217-225 doi:10.1051/jp4:20030631
(2003) Dépôt par ablation laser UV nanoseconde pour la réalisation de composants Télécom. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 19-22 doi:10.1051/jp4:20030587
(2003) Étude de la génération d'harmoniques par des faisceaux tronqués. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 105-108 doi:10.1051/jp4:20030607
(2003) Étude des processus physico-chimiques dans un plasma produit par ablation laser pour la croissance de couches minces. Journal de Physique IV (Proceedings), 108. 59 doi:10.1051/jp4:20030596
 
and/or  
Mindat.org® is an outreach project of the Hudson Institute of Mineralogy, a 501(c)(3) not-for-profit organization. Mindat® and mindat.org® are registered trademarks of the Hudson Institute of Mineralogy.
Copyright © mindat.org and the Hudson Institute of Mineralogy 1993-2026, except where stated. Most political location boundaries are © OpenStreetMap contributors. Mindat.org relies on the contributions of thousands of members and supporters. Founded in 2000 by Jolyon Ralph and Ida Chau.
To cite: Ralph, J., Von Bargen, D., Martynov, P., Zhang, J., Que, X., Prabhu, A., Morrison, S. M., Li, W., Chen, W., & Ma, X. (2025). Mindat.org: The open access mineralogy database to accelerate data-intensive geoscience research. American Mineralogist, 110(6), 833–844. doi:10.2138/am-2024-9486.
Privacy Policy - Terms & Conditions - Contact Us / DMCA issues - Report a bug/vulnerability Current server date and time: June 4, 2026 03:18:48
Go to top of page